Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Kaydedildi:
Detaylı Bibliyografya
Kurumsal yazarlar: American Chemical Society. Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry, American Chemical Society. Meeting
Diğer Yazarlar: Thompson, L. F., 1944-, Willson, C. G. (C. Grant), 1939-, Bowden, M. J., 1943-
Materyal Türü: Kitap
Dil:English
Baskı/Yayın Bilgisi: Washington, D.C. : The Society, 1983.
Seri Bilgileri:ACS symposium series ; 219.
Konular:
Microlithography > Congresses.
Photoresists > Congresses.
Plasma etching > Congresses.
Semiconductors > Etching > Congresses.

CARM 1 Store

Detaylı Erişim Bilgileri CARM 1 Store
Yer Numarası: A2:AN26F0 C06129
Kopya Bilgisi 1 Kütüphanede  Rezerve

Benzer Materyaller