Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Сохранить в:
Библиографические подробности
Корпоративные авторы: American Chemical Society. Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry, American Chemical Society. Meeting
Другие авторы: Thompson, L. F., 1944-, Willson, C. G. (C. Grant), 1939-, Bowden, M. J., 1943-
Формат: ‌
Язык:English
Опубликовано: Washington, D.C. : The Society, 1983.
Серии:ACS symposium series ; 219.
Предметы:
Microlithography > Congresses.
Photoresists > Congresses.
Plasma etching > Congresses.
Semiconductors > Etching > Congresses.

CARM 1 Store

Подробно о фондах из CARM 1 Store
Шифр: A2:AN26F0 C06129
Копировать 1 Доступно  Поместить задолженность

Схожие документы