Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
organizacja autorów: American Chemical Society. Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry, American Chemical Society. Meeting
Kolejni autorzy: Thompson, L. F., 1944-, Willson, C. G. (C. Grant), 1939-, Bowden, M. J., 1943-
Format: Książka
Język:English
Wydane: Washington, D.C. : The Society, 1983.
Seria:ACS symposium series ; 219.
Hasła przedmiotowe:
Microlithography > Congresses.
Photoresists > Congresses.
Plasma etching > Congresses.
Semiconductors > Etching > Congresses.

CARM 1 Store

Szczegóły zapisu CARM 1 Store
Sygnatura: A2:AN26F0 C06129
Egzemplarz 1 Dostępne  Zamów

Podobne zapisy