Semiconductor measurement technology : survey of optical characterization methods for materials, processing, and manufacturing in the semiconductor industry /

Semiconductor measurement technology : survey of optical characterization methods for materials, processing, and manufacturing in the semiconductor industry /

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Bullis, W. Murray, 1930-
מחברים אחרים: Seiler, David G., Perkowitz, S.
פורמט: ספר
שפה:English
יצא לאור: Gaithersburg, MD : U.S. Dept. of Commerce, Technology Administration, National Institute of Standards and Technology, 1995.
סדרה:NIST special publication ; 400-98
נושאים:
Semiconductors > Testing > Optical methods.
Semiconductors > Characterization.
תיאור
תאור פריט:"December 1995."
תיאור פיזי:iv, 51 p. ; 28 cm.
ביבליוגרפיה:Includes bibliographical references.

פריטים דומים