Database for and statistical analysis of the interlaboratory determination of the conversion coefficient for the measurement of the interstitial oxygen content of silicon by infrared absorption /
שמור ב:
מחבר תאגידי: | |
---|---|
מחברים אחרים: | , , |
פורמט: | ספר |
שפה: | English |
יצא לאור: |
Gaithersburg, Md. : Washington, DC :
U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology ; For sale by the Supt. of Docs., U.S. G.P.O.,
1989.
|
סדרה: | Semiconductor measurement technology
NIST special publication ; 400-82 |
נושאים: |
תאור פריט: | "July 1989." |
---|---|
תיאור פיזי: | x, 168 p. : ill. ; 28 cm. |
ביבליוגרפיה: | Includes bibliographical references. |