Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing III : 16-17 October 1996, Austin, Texas /
Αποθηκεύτηκε σε:
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | , , |
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
Bellingham, Wash. :
SPIE,
1996.
|
| Σειρά: | Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ;
v. 2877. |
| Θέματα: |
| Φυσική περιγραφή: | ix, 218 p. : ill. ; 28 cm. |
|---|---|
| Βιβλιογραφία: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0819422754 |