The Capabilities and limitations of auger sputter profiling for studies of semiconductors /

The Capabilities and limitations of auger sputter profiling for studies of semiconductors /

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Detalles Bibliográficos
Autores Corporativos: United States. Defense Advanced Research Projects Agency, United States. National Bureau of Standards
Otros Autores: Schwarz, S. A.
Formato: Documento de Gobierno Libro
Lenguaje:English
Publicado: Washington, D.C : U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards, 1981.
Colección:NBS special publication ; 400-67
Semiconductor measurement technology
Materias:
Electron spectroscopy.
Semiconductors > Testing.
Sputtering (Physics)

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