Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing III : 16-17 October 1996, Austin, Texas /
Збережено в:
| Співавтор: | |
|---|---|
| Інші автори: | , , |
| Формат: | Книга |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Bellingham, Wash. :
SPIE,
1996.
|
| Серія: | Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ;
v. 2877. |
| Предмети: |
| Фізичний опис: | ix, 218 p. : ill. ; 28 cm. |
|---|---|
| Бібліографія: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0819422754 |