Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, Chen, R. T., Lowell, J., & Mathur, J. P. (1996). Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing III: 16-17 October 1996, Austin, Texas. SPIE.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, Ray T. Chen, John Lowell, và Jagdish P. Mathur. Optical Characterization Techniques for High-performance Microelectronic Device Manufacturing III: 16-17 October 1996, Austin, Texas. Bellingham, Wash.: SPIE, 1996.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, et al. Optical Characterization Techniques for High-performance Microelectronic Device Manufacturing III: 16-17 October 1996, Austin, Texas. SPIE, 1996.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.