User's manual for the program MONSEL-1 : Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology /

User's manual for the program MONSEL-1 : Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology /

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Lowney, J. R. (Jeremiah Ralph), 1946-
מחבר תאגידי: National Institute of Standards and Technology (U.S.)
מחברים אחרים: Marx, Egon
פורמט: ספר
שפה:English
יצא לאור: Gaithersburg, MD : Washington, DC : U.S. Dept. of Commerce, Technology Administration, National Institute of Standards and Technology ; For sale by the Supt. of Docs., U.S. G.P.O., 1994.
סדרה:Semiconductor measurement technology
NIST special publication ; 400-95
נושאים:
Scanning electron microscopy > Computer programs > Handbooks, manuals, etc.
Electrons > Scattering > Mathematical models > Computer programs > Handbooks, manuals, etc.
Monte Carlo method > Computer programs > Handbooks, manuals, etc.

CARM 1 Store

פרטי מלאי ספרים מ CARM 1 Store
סימן המיקום: A2:AF26H0 F01125
עותק 1 זמין  ביצוע הזמנה

פריטים דומים