Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, CA /
Đã lưu trong:
Tác giả của công ty: | |
---|---|
Tác giả khác: | |
Định dạng: | Hội nghị đang tiến hành Sách |
Ngôn ngữ: | English |
Được phát hành: |
AMF O'Hare [Chicago], IL :
Scanning Electron Microscopy, Inc.,
c1984.
|
Những chủ đề: |
Mô tả vật lý: | xii, 372 p. : ill. ; 29 cm. |
---|---|
Thư mục: | Includes bibliographies and indexes. |
số ISBN: | 0931288304 |