Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, CA /

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả của công ty: Pfefferkorn Conference Monterey, Calif.
Tác giả khác: Kyser, David F.
Định dạng: Hội nghị đang tiến hành Sách
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: AMF O'Hare [Chicago], IL : Scanning Electron Microscopy, Inc., c1984.
Những chủ đề:
Miêu tả
Mô tả vật lý:xii, 372 p. : ill. ; 29 cm.
Thư mục:Includes bibliographies and indexes.
số ISBN:0931288304