Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Nhiều tác giả của công ty: American Chemical Society. Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry, American Chemical Society. Meeting
Tác giả khác: Thompson, L. F., 1944-, Willson, C. G. (C. Grant), 1939-, Bowden, M. J., 1943-
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: Washington, D.C. : The Society, 1983.
Loạt:ACS symposium series ; 219.
Những chủ đề:
Microlithography > Congresses.
Photoresists > Congresses.
Plasma etching > Congresses.
Semiconductors > Etching > Congresses.
Mục lục:
  • An introduction to lithography / L.F. Thompson
  • The lithographic process--the physics / L.F. Thompson and M.J. Bowden
  • Organic resist materials--theory and chemistry / C. Grant Willson
  • Resist processing / L.F. Thompson and M.J. Bowden
  • Plasma etching / J.A. Mucha and D.W. Hess
  • Multi-layer resist systems / B.J. Lin.

Những quyển sách tương tự