Microelectronics processing : chemical engineering aspects /
Kaydedildi:
| Diğer Yazarlar: | , |
|---|---|
| Materyal Türü: | Kitap |
| Dil: | English |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Washington, DC :
American Chemical Society,
c1989.
|
| Seri Bilgileri: | Advances in chemistry series ;
221 |
| Konular: |
| Fiziksel Özellikler: | xiv, 547 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Bibliyografya: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 0841214751 |