Microelectronics processing : chemical engineering aspects /
Պահպանված է:
| Այլ հեղինակներ: | , |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | English |
| Հրապարակվել է: |
Washington, DC :
American Chemical Society,
c1989.
|
| Շարք: | Advances in chemistry series ;
221 |
| Խորագրեր: |
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | xiv, 547 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Մատենագիտություն: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 0841214751 |